拓荆科技：公司目前未开展第三代半导体相关的设备工艺研发
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拓荆科技：公司目前未开展第三代半导体相关的设备工艺研发
2022-09-19 09:32:00
有投资者在投资者互动平台提问：请问贵司第三代半导体碳化硅、氮化镓器件生产中是否采用ALD镀膜沉积制程？贵司是否已经掌握ALD或者CVD关键技术及设备制造？
拓荆科技(688072.SH)9月19日在投资者互动平台表示，公司目前未开展第三代半导体相关的设备工艺研发，目前公司主要聚焦在集成电路领域，后续公司产品进展情况请关注公司公告。
（文章来源：每日经济新闻）
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